凡是利用機械運動(轉動或滑動)以獲得真空的泵,稱為機械真空泵。機械真空泵按其工作原理及結構特點分 述如下: 1、變容真空泵 它是利用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。這種 泵分為往復式及旋轉式兩種。 (1)往復式真空泵 利用泵腔內活塞往復運動,將氣體吸入、壓縮并排出。又稱為活塞式真空泵。 (2)旋轉式真空泵 利用泵腔內轉子部件的旋轉運動將氣體吸入、壓縮并排出。----干式真空泵廠家
它大致有如下幾種分類: 1)油式真空泵:它是利用真空泵油密封泵內各運動部件之間的間隙,減少泵內有害空間的一種旋轉變容真 空泵。這種泵通常帶有氣鎮裝置。它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑閥式真空泵、余擺線真空泵 等。 2)液環真空泵:將帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時,把工作液體拋向泵殼形成與泵殼同心的 液環,液環同轉子葉片形成了容積周期變化的幾個小的旋轉變容吸排氣腔。工作液體通常為水或油,所以亦 稱為水環式真空泵或油環式真空泵。 3)干式真空泵:它是一種泵內不用油類(或液體)密封的變容真空泵。由于干式真空泵泵腔內不需要工作液體 ,因此,適用于半導體行業、化學工業、制藥工業及食品行業等需要無油清潔真空環境的工藝場合。----真空泵廠家